Produktdetails:
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Entschließung: | 3nm@30KV (SE) | Lineare Wiedergabe: | Negative lineare Wiedergabe: Lineare Wiedergabe des Schirm-6X~300000X: 12X~600000X |
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Objektträger: | Stadium mit fünf Äxten | Elektronenkanone: | Wolframerhitzte Kathode-Vor zentrierte Wolframfaden-Patrone |
Markieren: | sem-Elektronenmikroskop,sem-Maschine |
REM, EM6900 Std, Wolframfilament, SE + BSE, Auflösung 3 nm bei 30 kV (SE)
Da KYKY über 60 Jahre Erfahrung in der SEM-Herstellung verfügt, unterstützt die gesamte EM-Serie ein überarbeitetes und kundenspezifisch angepasstes System wie SEM +, wie z. B. die Umgestaltung der Elektronenstrahllithographie, das LaB6-Upgrade, das in STM, AFM, Heating Stage, Cryo Stage, Tensile Stage, Micro-Stage integriert ist. Nano-Manipulator usw. Das System verfügt auch über mehrere Schnittstellen an der Kammer zum Anschließen der meisten Analysedetektoren auf dem Markt
Der Standard EM6900 mit der maximalen Auflösung, die Sie mit dem Wolfram-Filament-REM erhalten können, und der im Vergleich zum EM6200 am bequemsten zu bündelnde Detektor SE + BSE haben die Probenbühne verbessert und das Ziel auch die Optimierung der Vakuumwege, die für den Kunden, der bereit ist, freundlich ist, verbessert die Dehnungsanalyse basiert auf dem Wolframfilament-REM.
Mehrsprachiges Betriebssystem, integriertes Bedienfeld, Kunde konnte die gesamte Einheit einfach mit Maus und Tastatur steuern, umfassender Kundendienstplan mit lebenslanger technischer Unterstützung.
Vorteile:
◆ Hohe Auflösung
◆ Aufrüstbarer LaB 6 , großer Sample - Tisch usw
◆ Mehrere Änderungsschemata
◆ Vollständiger Satz automatisierter Software
◆ Geringe Wartungskosten
Spezifikationen:
Artikel | EM6900 Std Tungsten Filament REM | |
Auflösung | 3 nm bei 30 kV (SE) 6 nm bei 30 kV (BSE) | |
Vergrößerung | Negative Vergrößerung: 6X ~ 300000X Bildschirmvergrößerung: 12X ~ 600000X | |
Elektronenkanone | Mit Wolfram beheizte, vorzentrierte Kathoden-Wolfram-Filamentpatrone | |
Beschleunigende Spannung | 0 ~ 30 kV | |
Linsensystem | Dreistufige elektromagnetische Linse (verjüngte Linse) | |
Objektivöffnung | Molybdänöffnung außerhalb des Vakuumsystems einstellbar | |
Probentisch | Fünf Achsen Bühne | |
Reise | X (Auto) | 0 ~ 80 mm |
Angebot | Y (Auto) | 0 ~ 60 mm |
Z (manuell) | 0 ~ 50 mm | |
R (manuell) | 360 ° | |
T (manuell) | -5 ° ~ 90 ° | |
Maximaler Probendurchmesser | 175mm | |
Detektor | Hochvakuum-Sekundärelektronendetektor | |
Halbleiter-Rückstreudetektor mit vier Segmenten | ||
IR CCD | ||
Änderung | Stage Upgrade; EBL; STM; AFM; Heizstufe; Kryo-Bühne; Zugstufe; Mikro-Nano-Manipulator; REM + Beschichtungsmaschine, REM + Laser | |
Zubehör | LaB6, Röntgendetektor (EDS), EBSD, CL, WDS, Beschichtungsmaschine | |
Vakuumsystem | Turbomolekularpumpen; Rotationspumpe |
Ansprechpartner: sales
Telefon: +8613810212935